光刻技術(shù)（關(guān)于光刻技術(shù)的簡(jiǎn)介）

2022-07-16 15:01:50 編輯：管伯瑞來(lái)源：

導(dǎo)讀大家好，光刻技術(shù)，關(guān)于光刻技術(shù)的簡(jiǎn)介很多人還不知道，現(xiàn)在讓我們一起來(lái)看看吧！1、光刻技術(shù)是指集成電路制造中利用光學(xué)-化學(xué)反應(yīng)原理和化

大家好，光刻技術(shù)，關(guān)于光刻技術(shù)的簡(jiǎn)介很多人還不知道，現(xiàn)在讓我們一起來(lái)看看吧！

1、光刻技術(shù)是指集成電路制造中利用光學(xué)-化學(xué)反應(yīng)原理和化學(xué)、物理刻蝕方法，將電路圖形傳遞到單晶表面或介質(zhì)層上，形成有效圖形窗口或功能圖形的工藝技術(shù)。

2、光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。

3、隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展，光刻技術(shù)傳遞圖形的尺寸限度縮小了2～3個(gè)數(shù)量級(jí)（從毫米級(jí)到亞微米級(jí)），已從常規(guī)光學(xué)技術(shù)發(fā)展到應(yīng)用電子束、X射線、微離子束、激光等新技術(shù)；使用波長(zhǎng)已從4000埃擴(kuò)展到0.1埃米數(shù)量級(jí)范圍。

4、光刻技術(shù)成為一種精密的微細(xì)加工技術(shù)。

本文關(guān)于光刻技術(shù)的簡(jiǎn)介就講解完畢，希望對(duì)大家有所幫助。

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